日本SMC常閉型高真空電磁閥

日本SMC常閉型高真空電磁閥

常閉型高真空電磁閥 XSA
●追加內(nèi)螺紋型（Rc, NPT） [New]
●低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
●漏電量：內(nèi)部1.3×10-9Pa·m3/s，外部1.3×10-11Pa·m3/s
●備有2種接頭
●消耗電力：大削減25%
●質(zhì)量：大削減18%　0.5kg→0.41kg

日本SMC常閉型高真空電磁閥

1.開關(guān)氣路，當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開時(shí)，機(jī)械真空泵Ⅲ對(duì)容器I抽真空，氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路；當(dāng)閥2關(guān)閉，閥4打開時(shí)，機(jī)械泵可單獨(dú)對(duì)擴(kuò)散泵抽真空；當(dāng)閥1和閥4同時(shí)打開時(shí)，擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可同時(shí)工作，對(duì)容器進(jìn)行抽空，此時(shí)氣流流經(jīng)擴(kuò)散泵?？梢姡y門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路，改變氣流的流經(jīng)路線。

2.控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度在圖1中，調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度，即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大小；關(guān)閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機(jī)械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。

3.定量充氣，在玻璃閥的柱塞上有個(gè)一定體積的小洞，當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時(shí)，小洞中就可充滿高壓氣體；當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時(shí)，就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。

真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結(jié)構(gòu)型式、驅(qū)動(dòng)方式、材料和用途進(jìn)行分類。

電磁真空帶充氣閥與電磁真空壓差閥是專門用于防止機(jī)械真空泵返油的真空閥，安裝于機(jī)械真空泵的進(jìn)氣口，并與泵同步開啟和關(guān)閉。一般不能用到其它地方，也就是說不能用于真空系統(tǒng)中作放氣之用。選用尼威電磁真空壓差閥的優(yōu)點(diǎn)是耗電量很小，節(jié)省能源;DN≤50的閥體材質(zhì)為鋁合金，重量輕，體積小，閥板關(guān)閉速度快。

擋板閥用在真空管道中角通和三通的地方。驅(qū)動(dòng)方式為手、氣、電磁、電動(dòng)由用戶決定。其中GDC-J型電磁高真空擋板閥為金屬波紋管密封，其應(yīng)用范圍較廣,也可當(dāng)充氣閥用;安裝位置可任意,可反頂一個(gè)大氣壓,并有反饋信號(hào)輸出。

插板閥用在真空度要求高或管道尺寸要求高的場(chǎng)合。全通導(dǎo)、閥門漏率為10-7Pa.L/S，雙向密封。驅(qū)動(dòng)方式手、氣、電動(dòng)由用戶決定。氣動(dòng)和電動(dòng)均帶信號(hào)反饋裝置。

隔膜閥與球閥為直通式，并能用在正壓和真空并存的場(chǎng)合。驅(qū)動(dòng)方式手、氣、電動(dòng)由用戶決定。

蝶閥為直通形式，手、氣、電三種驅(qū)動(dòng)方式由用戶決定。手動(dòng)蝶閥開啟角度任意可調(diào);智能型的氣動(dòng)和電動(dòng)蝶閥其開啟角度也任意可調(diào)。